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世界上第一款3D芯片誕生

  世界上第一款3D芯片工藝已經準備獲取牌照,該工藝來自于無晶圓半導體設計公司BeSang公司。 BESANG公司制作的用于演示的芯片在其控制邏輯上使用了1.28億個垂直晶體管用作內存位單元。
  該芯片的設計在韓國國家Nanofab中心和斯坦福Nanofab進行。BeSang公司稱,該工藝由25個專利保護,將允許FLASH、DRAM以及SRAM放置在邏輯電路、微處理器以及片上系統上。
  BeSang公司聲稱該公司在底層使用高溫處理工藝制造邏輯電路,在頂層使用低溫工藝來制造內存電路,從而實現了3D芯片。將不同層的邏輯和內存電路放置在同一個芯片中,BeSang公司的處理工藝晶圓中集成了更多的裸片,從而降低了每個裸片的成本。
  BeSang公司工藝過程為,首先在一個晶圓上通過常規的通孔和連接層來制作邏輯電路 ,然后在另一個晶圓上制作內存設備,最后將兩個晶圓排列并粘在一起,從而形成單個3D單元。

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