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日本Mectron試制出6層柔性底板間距為60μm

日本Mectron公司在“JPCAShow2007”(2007年5月30日~6月1日,東京BigSight國際會展中心)上展出了實現微細布線的多層超薄柔性底板的試制品。試制品按照手機中的相機模塊底板制成,6層的厚度僅0.3mm。布線層中第2~5層的布線間距(Pitch)僅60μm。目前市場上出售的柔性底板,布線間距往往為100~150μm。所有絕緣層都采用柔性底板,又實現了微細布線。可配備0.4mm間距的CSP。新產品的目標是柔性·剛性(Flex-Rigid)底板無法使用的超薄產品市場。該產品的開發已基本結束,預定08年初開始量產。
試制品由3張兩面貼著銅箔的聚酰胺膜(PolyamideFilm)重疊而成。中間的聚酰胺膜相當于核心(Core)層,第3層與第4層對過孔(ViaHole)進行電鍍使其導通。第1層和第2層、第5層和第6層在利用布線與激光形成埋孔圖案后重疊。重疊之后,利用激光從第1層和第6層打出埋孔,并對其電鍍使其導通。由于第1層和第2層、第5層和第6層不發生重疊偏移,所以埋孔的尺寸可小至120μm。此外,通過把銅箔變得比半蝕刻(HalfEtching)還薄,將第2~5層銅的厚度減到了10μm,實現了60μm的微細布線間距。第1層與第6層方面,由于要形成深達3層的埋孔并對其電鍍,所以銅將變厚。與內層相比,布線間距較大,為120μm。
鉸鏈等要求具備一定彎曲性的地方采用了去掉中間聚酰胺膜的“中空管結構”。由于鉸鏈部分為單面(1層)的柔性底板,所以彎曲性很高。即使以60rpm的速度彎曲20萬次以上,電阻變化率仍在50%以下。

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