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三家半導體大廠 揮軍銅制程3D芯片

聯電(2303)、爾必達(Elpida)、力成(6239)等3家半導體大廠今(21)日將宣布策略合作,據了解,3家業者將針對銅制程直通硅晶穿孔(Cu-TSV)3D芯片新技術進行合作開發,除了針對3D堆棧銅制程之高容量DRAM技術合作,未來也將開發DRAM及邏輯芯片之3D堆棧芯片技術,爭取手機、高性能家電、游戲機等整合型單芯片市場商機。

聯電與爾必達在2007年底已在低介電銅制程上合作,聯電授權爾必達使用其低介電銅導線制程技術,以應用在爾必達的DRAM產品制程上,爾必達則是許可聯電將爾必達的DRAM技術應用在嵌入式DRAM制程上。同時,聯電與爾必達也針對相位變化隨機存取內存(PRAM)進行合作,結合爾必達在硫族化合物(GST)材料的專業硅智財,與聯電在互補金屬氧化(CMOS)邏輯制程進行整合。

聯電于2008年再度與爾必達延伸合作內容至晶圓代工領域,爾必達將提供其位于日本廣島的12寸廠產能,聯電則提供硅智財(IP)及銅制程技術,鎖定爭取日本IDM廠委外代工訂單。

而隨著聯電在去年將聯日半導體(UMCJ)納入成為百分之百持股子公司,爾必達的12寸廠產能若得以靈活運用,聯電將可順勢進入日本特殊應用芯片(ASIC)代工市場。

然隨著整合型單芯片的市場應用趨于成熟,爾必達于去年宣布成功開發出以Cu-TSV技術生產的8GbDDR3,但為了將Cu-TSV技術應用到邏輯芯片產品線,或是應用到整合內存及邏輯芯片的整合型單芯片市場,于是聯電、爾必達不僅決定再度合作,還找上了在TSV市場已有初步研發成果的力成,3家公司共同合作搶進日益重要的Cu-TSV等3D芯片市場。

相較于聯電結合了爾必達及力成的DRAM制造及封測資源,共同開發TSV技術,臺積電與轉投資封測廠采鈺、精材間,已經藉由先進光學封裝技術布局3D芯片,并開始量產部分制程采用TSV技術的CMOS影像傳感器,同時也在其開放創新平臺(OIP)中,提供客戶有關TSV相關的晶圓制造及封測等制程。

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