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關(guān)于我國壓力傳感器市場發(fā)展分析

  目前國內(nèi)的傳感器技術(shù)水平從行業(yè)整體來講,較之國際水平,確實(shí)還有一定的差距。以壓力傳感器而言,我認(rèn)為國內(nèi)業(yè)界理論水準(zhǔn),跟國際水平并無多大差距,但基礎(chǔ)技術(shù),包括材料技術(shù)、制造設(shè)備、測試技術(shù)和可靠性研究等,與國際水平還是有一定差距。

  從生產(chǎn)設(shè)備來講,所有厚膜工藝設(shè)備(包括自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)、膜厚非接觸式測試設(shè)備、燒結(jié)爐、激光修調(diào)系統(tǒng)等)都必須從美國、英國、日本等國家進(jìn)口,金屬管浮子流量計(jì),這些都是國際一流設(shè)備,國內(nèi)不具備生產(chǎn)能力。另外,傳感器是敏感元件,對(duì)生產(chǎn)環(huán)境要求極高,生產(chǎn)線必須具備凈化廠房。而這一點(diǎn),國內(nèi)的生產(chǎn)線亦無法達(dá)到要求。以前,我們?cè)鴩L試,將自己設(shè)計(jì)的一體化陶瓷環(huán)、高壓阻系數(shù)電子漿料,配方研制完成后,在國內(nèi)生產(chǎn),但生產(chǎn)出的產(chǎn)品性能始終無法達(dá)到要求。所以,只能到國外委托加工。以設(shè)備來講,國內(nèi)生產(chǎn)線加工的傳感器存在的最大的問題就是時(shí)漂和溫漂大。

  我國壓力傳感器市場主要是工業(yè)自動(dòng)化控制領(lǐng)域,和汽車領(lǐng)域。據(jù)羅百輝介紹,在工控領(lǐng)域里目前我國絕大部份采用擴(kuò)散硅壓力傳感器、應(yīng)變片式壓力傳感器和濺射薄膜壓力傳感器,而國內(nèi)廠家生產(chǎn)面廣量大的就是擴(kuò)散硅壓力傳感器。在國內(nèi),西安市是我國笫二個(gè)五年計(jì)劃里重點(diǎn)發(fā)展壓力系列傳感器的重要城市,陜西寶雞市在省會(huì)城市西安的帶動(dòng)下,由原秦嶺晶體管廠進(jìn)行技術(shù)改造,和美國霍尼偉爾公司合作成立麥克傳感器公司,為我國擴(kuò)散硅壓力傳感器生產(chǎn)開創(chuàng)了先河。但MEMS技術(shù)和前道硅片制造技術(shù)仍控制在外國廠家手里。

  進(jìn)入九十年代,國際上MEMS技術(shù)有了長足的發(fā)展,硅片定向微機(jī)電加工精度和成品率不斷提高,加上離子注入技術(shù)的發(fā)展使擴(kuò)散硅壓力傳感器從技術(shù)上有了可靠保證,成本也有所下降。在許多應(yīng)用領(lǐng)域里,擴(kuò)散硅壓力傳感器還必須與充油蕊體配套,這又使它的售價(jià)大幅度上升。這些原因無疑在一定程度上促進(jìn)了國內(nèi)壓力傳感器市場的興盛。

  在國外,壓阻式陶瓷壓力傳感器以其高可靠性,抗腐蝕、優(yōu)良的線性精度和低成本開始逐漸替代擴(kuò)散硅壓力傳感器,這也將是必然的發(fā)展趨勢(shì)。國家科技部馬頌德副部長在2005年底視察無錫時(shí),對(duì)此作了充分肯定。

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