日前，由中國電子科技集團第13研究所研制的MEMS加速度傳感器突破了高精度SOI工藝加工、圓片級可調阻尼封裝、低功耗ASIC專用集成電路等關鍵技術，在國際招標項目中，一舉戰勝美國PCB公司和瑞士奇石樂等國際知名傳感器廠商。這是國產MEMS加速度傳感器首次在國際招標中獲勝，標志著中國電科MEMS加速度傳感器已達到國際先進產品水平。

　　MEMS加速度傳感器具備高精度、高分辨率(分辨率優于10μg)、低噪聲(13所2.5μg，國外同類產品約5μg)、低功耗、低溫漂、抗過載和超小體積(體積是國外同類產品1/4)、重量小于1.2克(國外同類產品約10克)等技術特點，主要技術指標全面超越國外同類產品。