美國丹納赫傳動以Dover為商標,推出用于半導體后端工藝的完善的晶片定位系統。美國丹納赫傳動設計和制造了各種定位系統,特別為縮短制造時間和優化制造水平而設計了直接插拔系統。
  
  運轉更平滑,更安靜,更快
  
  晶片爐系統應用
  

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技術頻道

丹納赫傳動為半導體設備提供解決方案

  美國丹納赫傳動以Dover為商標,推出用于半導體后端工藝的完善的晶片定位系統。美國丹納赫傳動設計和制造了各種定位系統,特別為縮短制造時間和優化制造水平而設計了直接插拔系統。
  
  運轉更平滑,更安靜,更快
  
  晶片爐系統應用
  

  

  美國丹納赫傳動高精度直線運動系統、滑軌和臺架,使晶片加工設備運轉更長久、更平滑……周而復始地運轉。
  
  從電機到減速器、執行器直到軸承系統,具有50多年的經驗和最廣泛的產品選擇,可以從同一技術源設計最節省成本、最高性能的成套解決方案。
  
  晶片輸送系統應用
  

  

  
  美國丹納赫傳動高精度直線運動系統、滑軌和臺架,使芯片加工設備運轉更長久更平滑……周而復始地運轉。
  
  從電機到減速器、執行器直到軸承系統,具有50多年的經驗和最廣泛的產品選擇,可以從同一技術源設計最節省成本、最高性能的成套解決方案。
  
  
  美國丹納赫傳動的高性能定位系統舉例
  
  高性能200mm和300mm晶片平臺:
  美國丹納赫傳動 Triathalon平面空氣軸承、直線運動晶片平臺能夠產出精確、高生產率和穩定性的最終產品。
  
  空氣軸承FPD臺架系統:
  美國丹納赫傳動的行業領先的通用型5、6 和7套臺架系統能夠滿足最苛刻的環境要求。
  
  恒速掃描平臺:
  美國丹納赫傳動空氣軸承掃描平臺具有31皮米分辨率和保持低于5納米的CV跟蹤誤差,專為大多數高要求圖像應用而設計。
  
  高真空定位系統:
  用來使整體直接進入處理腔(最小抽真空級1 X 10 -8 Torr)。
  
  高速空氣軸承:
  能夠在非常緊湊的X軸組件里進行高效率晶片掃描。

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