檢測項目:晶圓邊緣的點缺口或線缺口
  
  

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技術頻道

優納科技(UNIC-Tech)產品在晶圓缺口檢測中的典型應用

  檢測項目:晶圓邊緣的點缺口或線缺口
  
  

  
  
   點缺口(Dot Notch)線缺口(Flat Notch)
  檢測任務:通過視覺檢測,將晶圓(wafer)精確定位,為下一步工序做好準備   
  原理說明
   檢測定位是指找到被測物體或物測物體某一特征區域并確定其位置,輸出位置坐標,絕大多數的視覺系統都必須完成這個工作;當被測物體的坐標被準確定位之后,常常需要根據前一步確定的位置來完成下一個動作(比如機器手進行抓取、激光進行切割和焊接頭進行焊接等)。這是視覺行業里被最密集使用的技術,定位的精度、速度和重復度就是各個視覺系統的關鍵指標,北京優納科技有限公司自主研發的PHOCUS-iNotch晶圓缺口檢測系統在以上方面具有明顯的技術優勢,成功實現了自動分辨點缺口與面缺口,及高速高精確檢測與定位。  
  系統組成
   PHOCUS-iNotch晶圓缺口檢測系統主體包括PHOCUS系列智能相機(130萬-300萬象素可選)、iNotch缺口檢測軟件、及系統標配的LED環形光源和電源,全部由優納科技自主研發生產。易于集成和安裝,利用Etherne網絡進行通訊。通過網絡,用戶可以方便進行數據訪問和工業過程監控,并實現了更好的晶圓跟蹤。所有地點能夠遠程信息共享。PHOCUS-iNotch還提供RS-232串口通訊,滿足沒有Etherne網絡的工廠設備使用的需要。PHOCUS-iNotch能夠方便與工廠設備進行系統集成,并很容易根據現有設備的需要進行安裝和升級。
  
  

  

  
  
  系統優勢
   缺口Notch通常不超過2mm,這要求檢測設備的圖像采集清晰度非常高;在半導體生產現場,對缺口檢測的速度要求很高;同時,受到光源、電源等電磁信號干擾的影響,消除和避免噪音也成為提高檢測精度的必要手段。
   晶圓缺口檢測系統PHOCUS-iNotch采用圖像識別技術進行實時檢測、定位和分析,有效地避免了上述的種種問題,使得生產精度,穩定性及效率得到極大的提高。其硬件部分采用PHOCUS-1810高速130萬象素智能相機,保證了高質量圖像的采集;檢測定位部分應用優納科技自主研發的iNotch視覺軟件包,其定位精度高,速度快,一次識別時間在100ms以內;結合優納最新研發的LED環形光源和電源,最大限度地降低了現場噪音對圖像的影響。PHOCUS-iNotch晶圓缺口檢測系統可自動分辨點缺口和線缺口,最高精度可達0.1個象素,性能達到世界領先水平。  
  軟件界面
  系統自動測量并標注圓心、點缺口位置坐標;
  自動生成圓心—缺口連線;
  測量圓心-缺口距離

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