檢測項(xiàng)目:晶圓邊緣的點(diǎn)缺口或線缺口
  
  

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技術(shù)頻道

優(yōu)納科技(UNIC-Tech)產(chǎn)品在晶圓缺口檢測中的典型應(yīng)用

  檢測項(xiàng)目:晶圓邊緣的點(diǎn)缺口或線缺口
  
  

  
  
   點(diǎn)缺口(Dot Notch)線缺口(Flat Notch)
  檢測任務(wù):通過視覺檢測,將晶圓(wafer)精確定位,為下一步工序做好準(zhǔn)備   
  原理說明
   檢測定位是指找到被測物體或物測物體某一特征區(qū)域并確定其位置,輸出位置坐標(biāo),絕大多數(shù)的視覺系統(tǒng)都必須完成這個(gè)工作;當(dāng)被測物體的坐標(biāo)被準(zhǔn)確定位之后,常常需要根據(jù)前一步確定的位置來完成下一個(gè)動(dòng)作(比如機(jī)器手進(jìn)行抓取、激光進(jìn)行切割和焊接頭進(jìn)行焊接等)。這是視覺行業(yè)里被最密集使用的技術(shù),定位的精度、速度和重復(fù)度就是各個(gè)視覺系統(tǒng)的關(guān)鍵指標(biāo),北京優(yōu)納科技有限公司自主研發(fā)的PHOCUS-iNotch晶圓缺口檢測系統(tǒng)在以上方面具有明顯的技術(shù)優(yōu)勢,成功實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)分辨點(diǎn)缺口與面缺口,及高速高精確檢測與定位。  
  系統(tǒng)組成
   PHOCUS-iNotch晶圓缺口檢測系統(tǒng)主體包括PHOCUS系列智能相機(jī)(130萬-300萬象素可選)、iNotch缺口檢測軟件、及系統(tǒng)標(biāo)配的LED環(huán)形光源和電源,全部由優(yōu)納科技自主研發(fā)生產(chǎn)。易于集成和安裝,利用Etherne網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行通訊。通過網(wǎng)絡(luò),用戶可以方便進(jìn)行數(shù)據(jù)訪問和工業(yè)過程監(jiān)控,并實(shí)現(xiàn)了更好的晶圓跟蹤。所有地點(diǎn)能夠遠(yuǎn)程信息共享。PHOCUS-iNotch還提供RS-232串口通訊,滿足沒有Etherne網(wǎng)絡(luò)的工廠設(shè)備使用的需要。PHOCUS-iNotch能夠方便與工廠設(shè)備進(jìn)行系統(tǒng)集成,并很容易根據(jù)現(xiàn)有設(shè)備的需要進(jìn)行安裝和升級。
  
  

  

  
  
  系統(tǒng)優(yōu)勢
   缺口Notch通常不超過2mm,這要求檢測設(shè)備的圖像采集清晰度非常高;在半導(dǎo)體生產(chǎn)現(xiàn)場,對缺口檢測的速度要求很高;同時(shí),受到光源、電源等電磁信號干擾的影響,消除和避免噪音也成為提高檢測精度的必要手段。
   晶圓缺口檢測系統(tǒng)PHOCUS-iNotch采用圖像識(shí)別技術(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測、定位和分析,有效地避免了上述的種種問題,使得生產(chǎn)精度,穩(wěn)定性及效率得到極大的提高。其硬件部分采用PHOCUS-1810高速130萬象素智能相機(jī),保證了高質(zhì)量圖像的采集;檢測定位部分應(yīng)用優(yōu)納科技自主研發(fā)的iNotch視覺軟件包,其定位精度高,速度快,一次識(shí)別時(shí)間在100ms以內(nèi);結(jié)合優(yōu)納最新研發(fā)的LED環(huán)形光源和電源,最大限度地降低了現(xiàn)場噪音對圖像的影響。PHOCUS-iNotch晶圓缺口檢測系統(tǒng)可自動(dòng)分辨點(diǎn)缺口和線缺口,最高精度可達(dá)0.1個(gè)象素,性能達(dá)到世界領(lǐng)先水平。  
  軟件界面
  系統(tǒng)自動(dòng)測量并標(biāo)注圓心、點(diǎn)缺口位置坐標(biāo);
  自動(dòng)生成圓心—缺口連線;
  測量圓心-缺口距離

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