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技術頻道

40臺烤箱(芯片老化)溫度專用監視記錄系統

一、概述:此系統是對半導體芯片加工過程中,需要對出產的芯片進行老化檢驗這一工藝而開發的專用系統。它全自動對40臺烤箱(芯片老化,共240個溫度點)的溫度按年月日同時進行24小時全天采集監視記錄,值班人員可隨時根據烤箱的溫度數據情況確認當前數據是否異常,并且可以保存確認記錄,以便今后查看、打印歷史記錄。運用此系統,用戶可以大大提高生產效率,減輕工人的工作量,同時,對公司的產品質量的提高提供了一手的原始數據。目前已經有4套系統在日月光(上海)半導體的三個車間運行,溫度傳感器采用K型熱電偶,測溫為0--250℃,溫度誤差±2℃。更新速度1次/秒,保存速度1次/分。

二、.技術指標:
烤箱數:40臺
每個烤箱溫度點:6個
總溫度點:40x6=240個
熱電偶類型:J、K(默認)、T、E、R、S、B、N
AD分辨率:24位
更新速度:1次/秒
采集模塊:采用本公司ZP1018模塊,共用40個模塊
主機模塊:采用本公司ZP1090模塊,共用5個模塊
每個主機模塊帶8個ZP1018模塊
通信模式:HEX模式(本公司特有模式,推薦用)
通信波特率:9600bps
通訊接口:RS485接口,2線制
通信距離:1200米,加中繼器可以更長距離
電壓精度等級:±0.05% FSR或更高
溫度精度等級:根據用戶的熱點偶的精度等級確定
系統工作溫度:-20℃~70℃

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