半導體圓晶片刻線顯微鏡聚焦系統用電渦流位移傳感器
<br />用凱盟公司15N傳感器頭和前置器SMU9200組成。 <br />主要指標： <br />測量對象：鋁 <br />量程起點：0.625mm <br />量程：±0.25mm <br />非線性：±1％ <br />分辨率：<5x10^-9M <br />靈敏度：10V/mm <br />電源：+6～＋30V，15MA/每通道 <br />頻響：0－10KHZ <br />輸出：±2.5V <br />溫漂：0.25µm/℃ <br />欲了解更多關于產品的信息，請訪問真尚有公司網站www.51sensors.com <br />文章版權歸西部工控xbgk所有，未經許可不得轉載。
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